Bevezetés a MEMS és NEMS rendszerek tudományába.

Mikro és nanorendszerek (MEMS és NEMS rendszerek) kialakulásának történeti áttekintése. A MEMS és NEMS technológiák legfontosabb technológiai lépései. Szelettechnológiai lépések: oxidáció, adalékolás, rétegfelvételi eljárások, kötési eljárások. A mintázat kialakítása: litográfia, tervezési szabályok, különböző marási technológiák. Planarizációs technológiák. A MEMS és NEMS eszközök gyártásának integrálása a MOS ill. CMOS gyártástechnológiákba. A felületi és tömbi kialakítású mikrorendszerek. Az arányos méretcsökkenés hatása a mikrorendszerekre

Mikrorendszerek tervezési és modellezési kérdései.

MEMS eszközök modellezése elektromos hálózatokkal. Az általánosított kapacitás. Az általánosított inercia. Állapotegyenletek.

A legfontosabb MEMS energia átalakítók tulajdonságai.. Lineáris rendszerek időfüggő viselkedése. Lineáris áramköri helyettesítőképek. Az energia átalakítók linearizált modelljei.

A MEMS szimuláció eszközei.

MEMS rendszerek a különböző energia tartományokban.

Mozgó alkatrészes mikrorendszerek. A rugalmas deformáció. Mikrorendszerek szerkezeti elemei: konzolok, hidak, membránok. Hajlító és torziós igénybevétel.

Termikus elvű mikrorendszerek. A termikus energia tartomány leírására szolgáló egyenletek. A disszipációs veszteségek fajtái. Disszipációs folyamatok leírása.

Folyadékok áramlása. Folyadékok áramlásának modellezése.

Esettanulmányok a különböző energia tartományokból: nyomásérzékelők, gyorsulásmérők, billenőtükrös kivetítők, piezoelektromos giroszkópok. Biológiai orvostechnológiai felhasználások: DNS analízis, mikrolaboratórium, gyógyszeradagoló.

Érzékelő hálózatok és az intelligens környezet.

A nanotechnika legfontosabb eredményei,

Felhasználási perspektívák, karbon nanocsövek és nanohuzalok.

Elektronikai rendszerek kapcsolódása biológiai rendszerekhez.