Előadások anyaga

• A mikro/nanorendszerek mint a félvezető ipar növekedési ágazata. A szakterület jellege, meghatározása, rendszerezése, felosztása, kapcsolódásai.
• A mikro- és nanotechnika anyagai, félvezetők, kerámiák, műanyagok, kvarc, gyémánt, szén nanocsövek, stb. és ezek kompatibilitási, megmunkálási kérdései. A mikrorendszerek speciális tokozási követelményei.
• Mikromechanika a hiradástechnikában, optikai távközlésben, (optikai) kapcsolók, szűrők, mikrotükrös megjelenítő eszközök, vetítők, hangolható lézerek.
• A MEMS tömegpiac eszközeinek (nyomásérzékelők, gyorsulásérzékelők, tintasugaras nyomtatófejek, pásztázó-szonda tűk) speciális alkalmazásai: erőmérés, helyzetmeghatározás, mikroadagolás, SEM-AFM nanomegmunkálás.
• Integrált mikro-folyadékkezelés (microfluidics), mikroreaktorok, mikro-totális analitikai rendszerek (µTAS), biochipek.
• Mikrorendszerek az orvosbiológiában, biokompatibilitás, implantált érzékelők, DNS szegmentálás, MEMS a szűrővizsgálatokban.
• Mikrofúvókák, mikrohajtóművek, motorok, áttételek, megmunkálási technikák. Nanotechnológiai lehetőségek, bio-kapcsolódások.
• Pórusos szilícium mint mikro- és nanotechnológiai alapanyag, alkalmazásai. Termikusan szigetelt integrált szerkezetek a hőmérséklet, áramlás- nedvesség- és gázérzékelésben. Passzív optikai elemek, szűrők előállítása.

A gyakorlati munka tartalma

Az utolsó 16-20 óra 4-5 alkalomra koncentrált laborgyakorlat formájában az MTA MFA Mikrotechnológiai laboratóriumában zajlik.

A feladat a tárgyalt tananyag és az előzetes ismeretek felhasználásával, rövid bevezetés után a COSMOS és SILVACO termomechanikus- ill. technológiai szimulációs rendszerek alkalmazásával, megfelelő támogatással egy rezgőnyelves érzékelő megtervezése és saját kezű előállítása pórusos szilícium tömbi mikrogépészeti eljárással, tiszta laboratóriumi környezetben. Ezt követően az eszközök funkcionális minősítése , a saját frekvencia meghatározása és egybevetése a tervezés szempontjaival.