 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
| Egyetem: | DE | |
| Intézet,kar: | Faculty of Science | |
| Tanszék: | Department of Solid State Physics | |
| Kurzus címe: | Vékonyrétegek előállítása | |
| Tantárgyfelelős neve: | Dr Langer Gábor | |
| E-mail: | glanger@tigris.klte.hu | |
| Tanárok neve: | Dr Langer Gábor | |
| Tantárgyprogram: | Gázok. Gázok a vákuumrendszerekben. Vákuumszivattyúk. Vákuummérés. Vákuumrendszerekben használható anyagok. Vákuumrendszerek. Vákuumgőzölés. Elektronsugaras párologtatás. MBE. Porlasztás. Magnetronok. Porlasztási karakterisztikák.
|
|
| Fokozat: | Ph.D |
|
| Típus: | előadás |
|
| Minősítése az oktatásban: | kötelezően választható | |
| Jegyzet címe: | ||
| Kreditek száma: | 3 | |