A rétegelőállítás módszerei:
Fizikai módszerek: vákuumpárologtatás, porlasztás, molekulasugár-epitaxia Kémiai módszerek: kémiai gőzfázisú leválasztás, elektrolitikus és kémiai leválasztás.

A különböző lehetséges rétegszerkezetek áttekintése:
Amorf, polikristályos és egykristály (epitaxia) rétegek, sokrétegű rendszerek, textúrák.
A vékonyrétegek szerkezetvizsgálati módszereinek áttekintése.
Elektrondiffrakció és elektronmikroszkópia, röntgen-diffrakció, felületanalitika módszerei (elektronsugaras mikroanalízis, Auger, ESCA, SIMS).

A szerkezet-kialakulás fizikája:
Magképződés, gőz-folyadék-szilárd fázisátalakulás, amorf és kristályos fázisú szemcsenövekedés mechanizmusa, koaleszcencia, textúrák és morfológiák kialakulása, szennyezők és adalékok szerepe, különböző szerkezetű és tulajdonságú rétegek megtervezhetősége, nanokristályos rétegek, határfelületi reakciók.

Összefüggés a rétegek szerkezete és fizika-kémiai tulajdonságai között.