Epi- és mezotaxiális rétegek növesztése. Multirétegek. Multirétegek előállítása mágneses porlasztással. Szilárdtest-amorfizáció. Rétegépülés és szilárdfázisú átalakulások vékonyrétegekben. Multirétegek és nanorétegek szerkezete és elektronmikroszkópiája. Diffúziós amorfizáció multirétegekben. Multirétegek röntgen-diffrakciós szerkezetvizsgálata. Al-fém kölcsönhatások vékonyrétegekben. Neutron reflektometria. Vékonyrétegek Mössbauer vizsgálata. Súrlódó beeséses Mössbauer-spektroszkópia. Koherencia-feszültségek vékonyrétegekben. Vékonyréteg és ionimplantációs technikával létrehozott metastabil rétegek. Defektmérnökség félvezető szerkezetekben. Rétegszerkezetek félvezetőkben. Mélységszelektív mérések lassú pozitronokkal. Vékonyrétegek vizsgálata ionsugaras analitikai módszerekkel. Multirétegek vizsgálata mágneses röntgen dichroizmussal.
|